各國潔凈室(區)空氣潔凈度級別表
潔凈度級別
|
塵粒最大允許數/立方米
≥0.5μm塵粒數
|
≥5μm塵粒數
|
微生物最大允許數
浮游菌/立方米
|
沉降菌/皿
|
100級
|
3,500
|
0
|
5
|
1
|
10,000級
|
350,000
|
2,000
|
100
|
3
|
100,000級
|
3,500,000
|
20,000
|
500
|
10
|
300,000級
|
10,500,000
|
60,000
|
1000
|
15
|
空氣潔凈
度等級(N)
|
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(空氣粒子數個/立方米)
|
|||||
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
1.0um
|
5.0um
|
|
ISO Class1
|
10
|
2
|
||||
ISO Class2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
||
ISO Class3
|
1,000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
ISO Class4
|
10,000
|
2,370
|
1,020
|
352
|
83
|
|
ISO Class5
|
100,000
|
23,700
|
10,200
|
3,520
|
832
|
29
|
ISO Class6
|
1,000,000
|
237,000
|
102,000
|
35,200
|
8,320
|
293
|
ISO Class7
|
352,000
|
83,200
|
2,930
|
|||
ISO Class8
|
3,520,000
|
832,000
|
29,300
|
|||
ISO Class9
|
35,200,000
|
8,320,000
|
293,000
|
|||
注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平
|
各國潔凈度等級近似對照表
個/M≥0.5um
|
ISO
14644-1(1999)
|
US
209E(1992)
|
US
209D(1988)
|
EEC
cGMP(1989)
|
FRANCE
AFNOR(1981)
|
GERMANY
VDI 2083(1990)
|
JAPAN
JAOA(1989)
|
1
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
3.5
|
2
|
–
|
–
|
–
|
–
|
0
|
2
|
10.0
|
–
|
M1
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
35.3
|
3
|
M1.5
|
1
|
–
|
–
|
1
|
3
|
100
|
–
|
M2
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
353
|
4
|
M2.5
|
10
|
–
|
–
|
2
|
4
|
1,000
|
–
|
M3
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
3,530
|
5
|
M3.5
|
100
|
A+B
|
4,000
|
3
|
5
|
10,000
|
–
|
M4
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
35,300
|
6
|
M4.5
|
1,000
|
1,000
|
–
|
4
|
6
|
100,000
|
–
|
M5
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
353,000
|
7
|
M5.5
|
10,000
|
C
|
400,000
|
5
|
7
|
1,000,000
|
–
|
M6
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
3,530,000
|
8
|
M6.5
|
100,000
|
D
|
4,000,000
|
6
|
8
|
10,000,000
|
–
|
M7
|
–
|
–
|
–
|
–
|
–
|
潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級
大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)
|
||||||
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
1um
|
5um
|
|
1
|
10
|
2
|
||||
2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
||
3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
4(十級)
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
|
5(百級)
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
6(千級)
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
7(萬級)
|
352000
|
83200
|
2930
|
|||
8(十萬級)
|
3520000
|
832000
|
29300
|
|||
9(一百萬級)
|
35200000
|
8320000
|
293000
|
概述
空氣潔凈度等級(air cleanliness class):潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。
測試
一、潔凈室的空氣潔凈度,應進行下列測試
(一)空態、靜態測試
空態測試:潔凈室已竣工,凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試。
靜態測試:潔凈室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,工藝設備已安裝,室內沒有生產人員的情況下進行測試。
(二)動態測試
潔凈室已處于正常生產狀態下進行測試。
潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。
二、空態、靜態測試
(一)測試前的準備
1. 應對潔凈室及其凈化空氣調節系統進行徹底清潔。
2. 采用光散射粒子計數器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風側靜壓箱內(或風管內)粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數應為大于或等于30,000粒/升。如若不夠,可引入煙霧,然后開始檢漏。將粒子計數器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過濾器2-3厘米處,可以2-4厘米/秒的速度移動,對高效空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。
當粒子計數器讀數為空氣口大于或等于0.5μm的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認為該處有明顯滲漏,必須進行堵漏。
(二)測試內容
1. 總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;
2. 潔凈室壓力值;
3. 層流潔凈室斷面風速和氣流流向;
4. 潔凈工作區的潔凈度;
5. 室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試;
6. 潔凈室內噪聲。
(三)潔凈工作區空氣潔凈度的測試方法
對于粒徑大于或等于0.5μm的塵粒計數,宜采用光散射粒子計數法,也可采用濾膜顯微鏡計數法。
光散射粒子計數法:
1. 光散射粒子計數器采樣量100級:每次采樣量大于或等于1升。1,000級-10,000級:每次采樣量大于或等于0.3升。100,000級:每次采樣量大于或等于0.1升。對于100級潔凈室,宜采用大流量粒子計數器進行測試;如果條件不具備時,可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數器。
2. 采樣注意事項:
①采樣管必須干凈,連接處嚴禁滲漏。
②采樣管的長度,應根據儀器的允許長度。當無規定時,不宜大于1.5米。
③采樣管口的流速,宜與潔凈室斷面平均風速相接近。測試人員應在采樣口的下風側。
④采樣順序應按含塵濃度從低到高進行。
3. 測點布置:
①檢測在潔凈工作區內進行。當生產工藝無特殊要求時,取樣高度宜為離地面1米。
②層流潔凈室測點總數不小于20點,測點間距為0.5-2.0米,粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數允許有一個點超過。水平層流潔凈室測點僅布置在第一潔凈工作區內。
③亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個測點(附圖2)。每增加20-50平方米,增加3-5個測點。
4. 數據整理:
①每個測點的數據整理應在測試儀器穩定運行的條件下連續三次采樣,取其平均值,即為該點的實測數值。
②對于大于或等于0.5μm的塵粒數確定:層流潔凈室取各測定點最大值,亂流潔凈室取各測點的平均值。
(四)正壓值測定應采用精度可達0.01毫米水柱的微壓計。
三、動態測試
在潔凈工作區操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行,測試方法同空態、靜態測試。